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在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，露點(diǎn)儀是一種非常重要的測(cè)量?jī)x器，用于測(cè)量氣體中的濕度。露點(diǎn)儀的選擇直接影響到半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。下面就介紹一些選擇露點(diǎn)儀的要點(diǎn)。首先，要選擇適合自己生產(chǎn)需求的露點(diǎn)儀。不同的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝需要不同的露點(diǎn)測(cè)量范圍。一般來說，露點(diǎn)儀的測(cè)量范圍在-80℃~+80℃之間，但也有一些特殊的要求，需要根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行選擇。其次，要考慮露點(diǎn)儀的精度和穩(wěn)定性。精度和穩(wěn)定性是衡量一臺(tái)露點(diǎn)儀的重要指標(biāo)。精度越高，測(cè)得的數(shù)據(jù)就越準(zhǔn)確；穩(wěn)定性越好，儀器校準(zhǔn)的次數(shù)就越少，可以...